半导体材料

MOCVD钨及铼发热体

产品介绍


产品用途:

用作半导体MOCVD设备的部件。

Application:

 They are used as a component of semiconductor MOCVD system.

 

产品加工精度参数/Product Processing Accuracy Parameters

主要材质Main Materials

加工范围Processing

Range

尺寸精度Dimensional Accuracy

(mm)

形状精度Shape Accuracy 

(mm)

位置精度Position Accuracy (mm)

光洁度Finish

(Ra, μm)

WRE

0.00-5.00

±0.003

0.01

0.005

0.2-0.4

WRE

5.01-15.00

±0.005

0.015

0.006

0.4

WRE

15.01-30

±0.008

0.02

0.007

0.4

WRE

30.01-100

±0.010

0.025

0.008

0.6

WRE

>100

±0.0127

0.030

0.010

0.6

 


推荐产品

+