产品用途：
用作金属层间的通孔(Vias)和垂直接触的接触孔(Contact)的填充物，即钨塞(W Plug)。
Application:
It is used as a filler for through holes (Vias) between metal layers and vertical contact holes (contact), i.e. tungsten plug.
产品性能参数/Product Property Parameters：
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化学成分
Chemical Compositions
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主含量，（%，不小于）
Main Content, %, min
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W
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99.99
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99.999
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杂质含量
（质量分数），
（%，不大于）
Impurity Content (mass fraction), %, max
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Al
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0.0001
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0.0001
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B
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-
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0.00001
|
|
Bi
|
0.0001
|
0.00001
|
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Ca
|
0.0005
|
0.00005
|
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Co
|
0.0001
|
0.00005
|
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Cr
|
0.0002
|
0.0001
|
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Cu
|
0.0002
|
0.0001
|
|
F
|
-
|
0.00001
|
|
Fe
|
0.0010
|
0.0001
|
|
K
|
0.0001
|
0.00001
|
|
Li
|
-
|
0.00005
|
|
Mg
|
0.0001
|
-
|
|
Mn
|
0.00005
|
0.00005
|
|
Mo
|
0.0010
|
-
|
|
Na
|
0.0002
|
0.00001
|
|
Ni
|
0.0002
|
0.0001
|
|
Pb
|
0.0003
|
0.00001
|
|
Si
|
0.0010
|
0.00005
|
|
Sn
|
0.0001
|
0.0001
|
|
Th
|
-
|
0.00000005
|
|
Ti
|
0.00005
|
0.00005
|
|
U
|
-
|
0.00000005
|
|
Zr
|
0.00005
|
-
|
|
Zn
|
0.0001
|
0.00005
|
|
C
|
0.0050
|
0.0050
|
|
O
|
0.0100
|
0.0100
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|
S
|
0.0010
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≤0.0010
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注：钨含量为100%减去表中所列杂质元素实测含量的总和（不包含气体元素）；需方如有特殊要求时，由供需双方协商确定，并在合同或订货单中注明。
Note: Molybdenum content is the sum of 100% minus the measured content of impurity elements listed in the table (excluding gas elements). Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer, and indicated in the contract or purchase order.
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其他性能Others:
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相对密度
Relative Density
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平均晶粒尺寸
Average Grain Size
(μm)
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粗糙度
Roughness
(Ra, μm)
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平面度
Flatness
（mm）
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≥99%
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≤100
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≤0.8
|
≤1%
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尺寸Size:
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形状
Shape
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厚度
Thickness（mm）
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宽度
Width（mm）
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长度
Length（mm）
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直径
Diameter（mm）
|
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圆形Round
|
3-25
|
-
|
-
|
≤450
|
|
方形Square
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3-25
|
≤600
|
≤2000
|
-
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注：如有特殊要求，双方具体商定。
Note: Special requirements will be agreed upon by the supplier and buyer.
